為了提高單晶硅的表面附著力，需要使用電子特氣四氟甲烷對(duì)其進(jìn)行活化清洗，一般在類真空環(huán)境中進(jìn)行，主要為了達(dá)到理想清潔狀態(tài)，為后續(xù)的表明涂覆做好基礎(chǔ)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)以及PWB (印制線路板)工業(yè)。在整個(gè)四氟化碳電子器件表面清洗工藝流程中雖然都是在真空環(huán)境中進(jìn)行的，密封性是沒有問題的，但是在整個(gè)氣相反應(yīng)后卻會(huì)排放掉這些等離子電子特氣。而在現(xiàn)場安裝使用四氟化碳等離子清洗氣體濃度報(bào)警器就是為了對(duì)現(xiàn)場環(huán)境空氣中殘留積聚或泄漏的四氟化碳?xì)怏w的濃度值進(jìn)行檢測，避免發(fā)生安全事故。 等離子清洗的作用并不是從名稱上看簡單的清洗，而是表面處理和反應(yīng)，它是起到表面活化，改變材料表面微觀結(jié)構(gòu)，起到提高附著力的作用。真空等離子清洗屬于電子工業(yè)的干法清洗，在一定的真空條件下，對(duì)四氟化碳施加足夠的能量使之電離為等離子狀態(tài)。利用等離子體處理樣品表面從而實(shí)現(xiàn)表面潔凈、表面改性、表面刻蝕、表面接枝的目的，最后將污染物轉(zhuǎn)換為氣相，并通過真空泵用連續(xù)氣體流將其排出。CF4(四氧化碳)是目前做電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，等離子刻蝕通常又會(huì)被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料，生成CO、CO2、H2O等，從而達(dá)到蝕刻的目的。

四氟化碳等離子清洗的工作原理：
主要通過等離子體作用在材料表面后產(chǎn)生一系列物理及化學(xué)變化，利用等離子清洗機(jī)包含的活性粒子和高能射線，與表面有機(jī)污染物分子發(fā)生反應(yīng)、碰撞，形成小分子揮發(fā)性物質(zhì)，從表面移除來實(shí)現(xiàn)清潔效果。
(1) 物理反應(yīng) (Physical reaction) :
主要是利用等離子體的粒子作為純物理的撞擊，把材料表面的原子打掉來清除了材料表面的污染物和刻蝕作用，將材料表面變粗糙，增加表面比和潤濕性。
(2) 化學(xué)反應(yīng) (Chemical reaction) :
利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有自夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。

四氟化碳等離子清洗表明反應(yīng)過程：
1、首先氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；
2、通過作用讓氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；
3、被吸附物質(zhì)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；
4、之后產(chǎn)物分子再解析形成氣相，以此達(dá)到反應(yīng)殘余物脫離表面的效果。

四氟化碳對(duì)人體的危害性：
能引起快速窒息，接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。四氟化碳，又稱作四氟甲烷、全氟甲烷、R14，化學(xué)式為CF4，在常溫常壓狀態(tài)下是一種無色無臭有輕微醚味的氣體，惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，分解出有毒的氟化物。若人體吸入高濃度四氯化碳,可能會(huì)產(chǎn)生頭痛、惡心、頭昏眼花及心血管系統(tǒng)的破壞(主要是心臟)。

以贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG51CF4固定在線式四氟化碳R14檢測報(bào)警儀和ERUN-PG71S6-CF4便攜泵吸式R14四氟化碳檢測報(bào)警儀為例，可分別針對(duì)固定安裝實(shí)時(shí)在線監(jiān)測和便攜手持方便快速檢測四氟化碳CF4氣體的濃度值，并可根據(jù)需求選配風(fēng)速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風(fēng)向、溫濕度等參數(shù)指標(biāo)。 固定在線式四氟化碳?xì)怏w檢測報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG51CF4
檢測氣體：四氟化碳CF4
量程范圍：0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器，其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差：≤±2%F.S.（更高精度可訂制）
顯示方式：報(bào)警器2.5寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值；控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式：現(xiàn)場聲光報(bào)警，值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸：4-20mA、RS485，可選無線傳輸
防護(hù)功能：IP65級(jí)防水防塵
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆 便攜手持式四氟化碳?xì)怏w報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG71S6-CF4
檢測氣體：四氟化碳CF4
量程范圍：0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器，其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差：≤±2%F.S.
最小顯示：0.001ppm、0.001%VOL、0.1%LEL
方法原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外、激光、PID光離子、熱導(dǎo)等
測量方式：泵吸式，流量500毫升/分鐘
顯示方式：2.5寸高清彩屏
報(bào)警方式：聲音+閃光+振動(dòng)+屏幕、關(guān)閉報(bào)警可選
響應(yīng)時(shí)間：T90≤20秒
工作電源：3.7 V DC，6000 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：標(biāo)配10萬條，支持定時(shí)存儲(chǔ)或只存儲(chǔ)報(bào)警信息
數(shù)據(jù)傳輸：USB、RS232，可選配RS485
防護(hù)形式：IP67級(jí)防水防塵
防爆形式：Ex ia ⅡC T4 Ga級(jí)防爆
外型尺寸：178×67×40mm(L×W×H)
產(chǎn)品重量：350 g
溫度測量：-40℃~+120℃、精度0.5℃（選配）
濕度測量：0-100%RH、精度3 %RH（選配）
采樣手柄：1.2m可伸縮采樣手柄（選配）

以上就是關(guān)于四氟化碳電子器件表面清洗工藝流程的相關(guān)介紹，等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。四氟化碳等離子清洗的物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走，化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達(dá)到清洗目的。而在現(xiàn)場安裝使用四氟化碳等離子清洗氣體濃度報(bào)警器就是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境空氣中排放積聚的四氟化碳CF4氣體的濃度值連續(xù)24小時(shí)不間斷實(shí)時(shí)在線監(jiān)測，避免其在現(xiàn)場過量積聚從而引發(fā)人員安全風(fēng)險(xiǎn)。